上傳晶圓與 WAT/CP 檢測數據文件
支援 .xlsx, .xls, .csv 格式(不限檔案名稱)
良率分析診斷 Dashboard
ROC-AUC 指標
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模型區分 OK/NG 之鑑別能力
測試集 Accuracy
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整體分類正確率
測試驗證筆數
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Hold-out 測試集資料量
Top 5 SHAP 關鍵異常參數
平均絕對 SHAP 值越高,代表該參數偏離對良率 NG 的影響力越大。
| 參數名稱 | Mean |SHAP| |
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