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Documentation & User Guide

XGBoost & SHAP 良率分析系統使用說明

本指南詳細說明資料格式規範、機器學習最佳實務建議,以及 AI 診斷報告解讀方式。

1. 輸入資料檔案與欄位規範

本系統支援 .xlsx, .xls.csv 檔案格式(不限制檔案名稱),檔案結構需符合以下欄位類型分類:

欄位類別 欄位名稱範例 資料型態 / 值範圍 系統處理機制
識別碼欄位 (IDs) lot-id, wafer-id, scribe, Time 字串 / 日期格式 自動過濾剔除,防止模型過擬合 (Overfitting)。
目標標籤 (Target) yield-judge, target, label, Status OK / NG0 / 1 (或 -1) 自動轉換為二元分類:1 代表良率異常 (NG),0 代表正常 (OK)。
電測/感測特徵 (Features) vt_n, ioff_p, sensor_001~100 連續型浮點數 (Numeric) 保留為數值特徵矩陣,供 XGBoost 及 SHAP 進行模型訓練與極值分析。

2. 如何讓 XGBoost 數據分析表現更好?(Best Practices)

01. 資料筆數與類別平衡

建議數據筆數在 500 ~ 5,000 筆 以上。系統已內建 scale_pos_weight 動態權重調整機制,可精準處理良率常見的稀有 NG 類別(如 5%~15% NG 率)。

02. 特徵品質與雜訊處理

請確保電測(WAT/CP)與機台感測數據無大規模全空列。剔除常數列(例如全為 0 的欄位)可顯著提升 XGBoost 網格尋優 (GridSearchCV) 的效率。

03. 結合實體物理與 WAT 參數

包含具備對應關係的物理參數(如 V_t 臨界電壓、閘極漏電流 I_off、通道飽和電流 I_on)可讓 SHAP 歸因分析精準印證半導體元件失效機制。

04. 標籤明確度 (Ground Truth)

請確保 yield-judge 的判定門檻符合製程規範(如以特定百分位數 P85 或 SPC 上下限定義 NG),明確的 Ground Truth 能讓模型的 ROC-AUC 達到 0.95 以上的高鑑別度。

3. 系統操作步驟 (SOP)

1
上傳數據檔案

選擇或拖曳包含檢測數據的 Excel/CSV 檔案。

2
網格尋優訓練

自動進行超參數尋優並建立最佳 XGBoost 模型。

3
SHAP 歸因計算

計算特徵極值影響力,提煉 Top 5 致災因子。

4
Gemini 產出報告

自動生成繁體中文白話診斷報告與建議。

4. 分析結果指標與報告解讀說明

卡片一:模型效能 KPI

  • ROC-AUC:範圍 0~1,數值越接近 1.0 代表模型區分 OK/NG 的能力越完美(0.9 以上即具高準確度)。
  • Accuracy:整體樣本分類正確率。

卡片二:Top 5 SHAP 關鍵異常參數

Mean |SHAP| 數值代表該參數對良率判定的平均影響張力。數值越高,代表該電測參數漂移是導致晶圓判定為 NG 的主要致災因子(如 ioff_p 漏電流偏大)。

卡片三:Gemini 3.6 Flash AI 良率診斷報告

由 LLM 自動將多維數據轉化為白話報告,包含「模型評估」、「根因物理分析」與「製程改善建議」(如熱退火 RTA 溫場調校、離子植入機台 SPC 管制提早攔截等)。